台積電晶圓傳送盒清洗機台開發節水控制系統。台積電提供
台積電致力優化製程能資源使用效率，持續以創新技術實踐綠色製造，繼領先業界打造晶圓清洗機台熱水循環系統後，進一步針對晶圓傳送盒清洗機台開發「節水控制系統」，並於2021年第2季通過驗證，透過精準控制純水使用量，使機台節水24%。截至今年8月，已成功導入晶圓12B廠、晶圓18A廠，預計2022年全面導入國內的12吋晶圓廠，目標每年將節省38萬噸純水及1533萬度電。
台積電指出，2021年上半年全台水電供應嚴峻，台積電積極尋找機台的節水省電機會點，發現晶圓傳送盒清洗機台因以直接式開關的水閥進行運轉，透過不間斷輸出熱水以確保水溫穩定，於未運作期間仍需持續供水；為提高用水效率，智能工程中心、晶圓12B廠與供應商分析清洗機台的能耗及運轉參數，共同研發漸進式開關的水閥，依據機台使用狀態自動控制熱水輸出流量多寡，當機台未運作時，即以漸進方式減少供水，不僅有效省水，亦能同時節電，預估每年可減少碳排放量約7800公噸，相當於20座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量。
台積電智能工程中心處長汪業傑說，台積電持續推動節能工程，提升能源使用效率，將洞見化為實質影響力，使節能力道最大化。
「節水控制系統」已列為新建廠區晶圓傳送盒清洗機台的標準設施，既有的國內12吋晶圓廠區預計於民國111年第2季前完成系統更新，屆時預估每年將節省38萬噸純水及1533萬度電。為更擴大節能效益，台積電將進一步開發晶圓傳送盒清洗機台的「熱水回收循環系統」，預計於2021年第4季進行評估作業，持續朝機台節能最大化的目標努力。（蕭文康／台北報導）
