台積電（2330）實踐綠色製造、持續優化製程能源使用效率。2020年領先業界將「低耗能管路加熱系統」導入先進製程，透過高效熱絕緣體減少熱散失，成功的使機台加熱管減少約25%能耗。目前已導入晶圓15廠第7期廠區，預計將於2025年進一步導入台灣全數12吋晶圓廠區及晶圓18B廠的3奈米與2奈米製程，每年預計將節省8000萬度電。
為管路穿上高效能隔熱外套，台積電抓住「熱」也節能。公司表示，供應晶圓生產機台的氣體管路，以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞，必須在機台運作期間，對管路外部的加熱設備不斷供電以維持管路表面高溫，確保管線通暢。傳統套件僅著重於管線的加熱功能，而忽略表面材質的保溫表現，導致熱能易失而造成電力浪費。
由台積電節能減碳委員會引領的節能團隊，攜手供應商利用「降低熱損失」的概念，運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質，取代玻璃纖維做為供氣管路外層。
奠基於氣凝膠的低熱導系數及絕佳的隔熱特性，台積電節能團隊進一步層層測試，強化其耐久度、熱導系數、微粒子測試及省電驗證後，成功領先業界開發第一套「低耗能管路加熱系統」，2020年3月於晶圓15廠第7期優先試行，有效降低管路表面溫度、減少25%能耗，全面減少熱散逸及熱能耗損。
提升能源使用效率，台積電節能團隊持續尋找各種潛在的節能機會點，不僅將方法平行複製於既有廠區，亦第一時間設定為新建廠區的標準化規格，減少機台修改的風險，使節能的力道最大化。
台積電智能工程中心處長汪業傑指出，平行複製「低耗能管路加熱系統」，台灣廠區2025年起全面省熱節能。低耗能管路加熱系統除通過台積電廠務處與晶圓15A廠的品質與節能驗證，亦已獲得SGS第三方驗證機構針對耐熱溫度、延展性等安全認證。
此系統已由廠務處新廠設計部列為新建廠區的標準設施，將於2021年導入晶圓18B廠3奈米及2奈米製程；既有的國內12吋晶圓廠區則預計於2025年前完成系統更新，屆時每年將額外減省8,000萬度電，台積電節能團隊亦將發揮綠色製造的創新力量，持續追求機台節能最大化。（蕭文康／台北報導）
