台學者好棒 台科大首度研發玻璃合金奈米管

出版時間 2017/12/05
台科大團隊研發出非晶金屬玻璃合金的奈米管,獲刊登於頂尖國際期刊「今日材料」。台科大提供
台科大團隊研發出非晶金屬玻璃合金的奈米管,獲刊登於頂尖國際期刊「今日材料」。台科大提供

奈米技術當紅,在太陽能電池、顯示器、生物檢測等都可多元應用,但目前大多為碳奈米管,台科大研究團隊研發出非晶金屬玻璃合金的奈米管,是全球首次成功製造將排列整齊有序的金屬奈米管陣列在矽晶圓上,傑出成果獲得刊登在頂尖國際期刊「今日材料」《Materials Today》,期盼未來在生物感測晶片可提供更快速、精準的檢測。
 
台科大研究團隊由材料系教授陳建光、朱瑾,應科所教授鄭智嘉,以及碩士生陳威廷、博士生游家齊組成,研究團隊指出,目前奈米管大多為碳質或是陶瓷氧化物之材料,且多為混亂排列結構,若要排列整齊的奈米管,其製程困難、繁瑣,且很難大面積化。
 
台科大研究團隊嘗試使用不同的材料應用在奈米管上,希望能讓半導體製程更有效率並降低成本,經過多次嘗試,最後利用非晶金屬玻璃的合金具有較高強度的特性,結合簡易的半導體微影製程及濺鍍鍍膜方式,成功地製造排列整齊有序的金屬奈米管陣列在矽晶圓上,更難得的是,可在「0.5 X 0.5公分」的晶圓上製造出逾2500萬支的金屬玻璃奈米管。
 
團隊成員之一的陳建光表示,研究團隊可藉由純熟、可量產、大面積化的半導體微影技術,輕易調整奈米管的尺寸,此技術製程簡易且皆於常溫下進行,能製備在各種材質上,如矽晶片、玻璃、聚合性高分子等。
 
另一研究團隊成員朱瑾說,期望未來將金屬玻璃奈米管陣列應用在生物感測晶片上,能提供更快速更精準的檢測,更能解決傳統半導體矽奈米元件高成本及定量檢測不易的問題,對於生物感測晶片開發與製造將會有很大的突破,其應用更是廣泛與深遠。(生活中心/台北報導)

台科大團隊研發出非晶金屬玻璃合金的奈米管,獲刊登於頂尖國際期刊「今日材料」。台科大提供


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