【蕭文康、陳韻婷／綜合報導】台積電（2330）、三星（SAMSUNG）競爭白熱化，3奈米製程將是下一個決戰點。儘管在台積電透露3奈米進度超前後，外電指三星也致力加速生產，但微驅科技總經理吳金榮直言，三星3奈米製程進度可能延遲1季。
彭博報導指出，全球晶片需求強勁，三星將加速EUV產線，並讓平澤市新晶圓廠提前運作，以提高產能。平澤市P2產線原計劃下半年量產，如今三星已將時程提前。
微驅科技總經理吳金榮指出，供應鏈傳出，由於三星採用GAA（閘極環繞）技術生產3奈米晶片，工程技術難度較台積電FinFET（鰭式場效電晶體）倍增，因此三星3奈米製程進度可能延遲1季。
吳金榮：三星採GAA技術
台積電、三星都宣稱將在2022年量產3奈米，台積電董事長劉德音近日才對外釋出3奈米製程進度比原先提早訊息。2020年11月24日在南科3奈米廠上樑典禮中指出，台積電預計將於2022年下半年量產3奈米製程，初期產能每月約5.5萬片，2023年則提高到10.5萬片。
三星繼5奈米製程量產成功後，三星高層宣稱將於2022年量產3奈米製程，吳金榮表示，從相關供應鏈傳出，由於三星採用GAA（閘極環繞）技術生產3奈米晶片，工程技術難度較台積電的方法倍增，因此三星3奈米製程進度可能較原先的進度往後再延遲1季左右。
台積電在14／16奈米製程時採用FinFET（鰭式場效電晶體），到3奈米繼續用，三星5奈米製程原先市場都認為良率並不是很好，後來接到高通驍龍888晶片後確定可以成功量產，但小米11手機是用驍龍888，很多人去測試三星製造的驍龍888，結果和台積電5奈米生產的華為和蘋果iPhone 12的5奈米晶片相比，事實上是比較不好。
三星號稱2022年開始量產3奈米，台積電也預計在2022年下半年量產，但劉德音宣示一旦量產，月產能就要有5.5萬片，但3奈米有個問題，目前EUV機台恐採雙重曝光才能完成，另一解決方式是採用ASML最新的高數值孔徑鏡頭EUV（型號EXE:5000）將於2022年下半年推出，3~4億美元（85~113億元台幣），是用錢堆起來的生產能量，進入門檻很高。
台積砸錢堆出3奈米產能
吳金榮分析，台積電在EUV布局上是處於領先地位，2020年台積電共有34台EUV，今年底預計將有55台，而三星在2020年約有19台EUV，今年底則將達30台。
另外，台積電不斷擴大資本支出擴充產能，在晶圓出貨量預估方面，台積電目前7奈米產能每月約12萬片，今年將擴充到14~16萬片；5奈米產能每月約9萬片，今年將擴充到10~12萬片；5奈米在今年上半年預計出貨65萬片、7奈米出貨85萬片、成熟製程出貨約410萬片。
