台積18吋晶圓 2018年量產

出版時間 2012/09/05
台積電將邁入20奈米量產階段,在國際半導體展前記者會上首度宣布18吋晶圓將於2018年量產。彭博
台積電將邁入20奈米量產階段,在國際半導體展前記者會上首度宣布18吋晶圓將於2018年量產。彭博

台積電副總林本堅表示,台積電規劃中的製程演進是從28奈米,依序走到20奈米、16奈米、10奈米,到下世代的7奈米,而目前20奈米進度順利,已經快要量產。據台積電先前法說透露,20奈米將在明年底正式進入量產。
不過,林本堅表示,在摩爾定律不斷的推進之下,台積電「等不及」採用極紫外光(Extreme Ultra-violet,EUV)微影技術,20奈米仍以浸潤式微影及雙重曝光技術生產,而下一世代的16奈米估計還會持續採用雙重曝光技術。

林本堅指出,畢竟雙重曝光技術昂貴,台積電原期待EUV的選項能給公司「帶來解脫」,但目前技術還不成熟,因此他認為,EUV技術在10奈米的時候再導入可能性較高,而多重曝光也會是另個選項。
另外,林本堅也看好無光罩技術(MEDW,Multiple e-beam direct write)前景,並指出該技術的開發成本較低,台積電現階段則與KLA-Tencor、Mapper設備廠共同投入該技術發展。
林本堅也首度公布18吋晶圓的量產時程將落在2018年,並指出最快在2016年至2017年之間就會進入試產階段。
台積電營運/12吋廠副總王建光則表示,目前研發中心在竹科,希望18吋晶圓的試產階段可以在竹科,但由於中科腹地較大,有機會做為量產的地點。

今年台灣國際半導體展重點

甫結束亞洲科技之旅的美銀美林證券半導體首席分析師何浩銘(Daniel Heyler)表示,半導體業者對於9月以後訂單能見度普遍偏向保守,主因下游新產品第3季持續鋪貨,庫存水位大幅拉高。
何浩銘認為,若第4季需求沒有趕上消化存貨,恐回頭衝擊上游半導體業9月之後的營運表現。
市場預估,第3季全球半導體整體成長約5%。何浩銘認為,有其達成難度,個別產品中,無線通訊晶片成長可8~10%,但有線產品僅成長3~4%、消費性電子與個人電腦晶片2~3%。
展望第4季,市場預估有5%的增長力道,有別於往年持平的看法。何浩銘認為,該數據同樣過於樂觀,下游硬體製造業9、10月應會面臨營運目標修正的壓力。

設備廠家登(3680)在今年半導體展積極展出新產品搶攻商機,董事長邱銘乾指出,家登今年將展示18吋前開式晶圓傳送盒、18吋多功能應用晶圓傳送盒與極紫外光光罩傳送盒(EUV POD)等新品,而這3項新產品已經客戶驗證並出貨中,將成為下半年營運成長的動能。
邱銘乾說,公司在台灣打造全世界第1條的18吋晶圓傳載解決方案產線,同時,18吋晶圓傳載解決方案已有許多重量級廠採購,並為其經手保護的晶圓片價值達數億元。
另外,旗下極外光光罩傳載產品也在今年第2季通過客戶的驗證,可望取代傳統的光罩護膜產業,搶進1年約數十億的商機。

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